2010年10月12日，集成电路装备专项监督评估意见反馈会在京召开。专项领导小组和实施管理办公室各成员单位代表、专职技术责任人和总体组专家参加了会议。会议由科技部重大专项办公室主任许倞主持。

    电子与信息板块监督评估组组长马俊如研究员通报了板块内三个专项2010年监督评估工作总体情况和有关结论。监督评估组认为，集成电路装备专项自实施以来取得了令人振奋的成绩，充分体现了国家实施重大专项的成效，专项总体组在领导小组和实施管理办公室给予的充分信任和大力支持下，工作尽心尽力、敢于承担责任，专项实施有了良好开端。同时也希望专项在光刻机关键技术攻关、企业盈利能力增强、产品工艺水平和设计服务能力提高等方面加大力度，重点突破，提高持续发展能力。

    集成电路装备专项总体组专家一致赞同并接受监督评估结果，表示专项实施与总体目标仍有较大差距，专项刚刚起步，最难的技术攻关将在未来两三年，今后的发展还很艰难，需要更大的努力。领导小组和实施管理办公室成员单位代表全部到会，领导小组办公室和实施管理办公室负责人分别作了发言，对评估组所给予的肯定与指导表示感谢，表示下一步将根据监督评估意见认真整改，提出切实可行的措施，并继续深入研究专项与相关产业规划衔接与协调发展等有关问题，做好人才培养和引进工作，不断努力探索和完善专项组织管理工作。