先进封装光刻机产品开发项目通过国家验收
2012年12月9日，国家02科技重大专项实施管理办公室和总体组，组织验收专家组对上海微电子装备有限公司承担的国家02科技重大专项“先进封装步进投影光刻机产品开发”项目进行了验收。
专家组依据合同任务书的考核要求，听取了公司的项目实施报告，同时审查了文档资料，并进行了现场考察和测试。在经过质询和讨论后，对项目实施三年来的成绩予以了较高评价，一致同意项目通过验收。
验收专家组希望上海微电子装备有限公司对先进封装光刻机产品进行持续创新，满足用户新的要求，开拓国际市场，不断扩大市场占有率。
来源：上海微电子装备有限公司