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北方微电子新厂房落成
2011-11-1
10月29日，北方微电子在位于北京亦庄经济开发区的公司新址举办了公司成立十周年庆典。
北方微电子自主研发高密度等离子刻蚀技术，打破了国外企业的垄断。其中，8～12英寸高密度等离子刻蚀机、12英寸铜互连PVD设备、8～12英寸TSVPVD设备首次实现了国内集成电路生产设备的“中国制造”。今年，公司又承接了国家“十二五”02专项“32～22nm栅刻蚀机产品研发及产业化”、“45～22nm铜互连PVD设备研发及产业化”项目。（来源：中国电子报）