中芯国际集成电路制造有限公司（SMIC）早前就宣称，将在2014年底前实现28nm批量投产。10月27日，SMIC在上海与ASML签订了价值4.5亿欧元的光刻设备批量购买协议，以适时提升自己先进工艺代工能力。

ASML全球服务副总裁游智琼（左）与SMIC企业规划与采购管理中心副总裁陈泰祥（右）在批量订购协议上签字

根据协议，ASML将向SMIC提供为32nm以及更为先进工艺节点而设计的300mm规格TwinScan NXT系统，晶圆高生产效率、高对准精度、高成像分辨率是该系统独有的特性。目前，32nm以下光刻机几乎基本上是ASML的天下，而TwinScan NXT单台价格约在5000万美元左右。

 双方签字仪式后，中芯国际首席执行官兼执行董事邱慈云与荷兰对外贸易和发展合作大臣Lilianne Ploumen交换礼物留念。邱慈云表示，中芯选择ASML为供应商，是因为ASML具有世界领先水准的产品与服务，这能更好地帮助中芯发展先进技术制程。

实际上，从0.25微米开始中芯就与ASML保持着良好的合作关系。据悉，双方在28/14nm工艺节点上仍将继续合作。荷兰对外贸易和发展合作大臣Lilianne Ploumen表示，荷兰政府鼓励本国企业与中国公司分享技术、共享市场机会，中国是个不断增长的重要市场，今天的签约标志着中荷两国在高科技方面的合作日益紧密，我期待未来有更大的发展。

（来源: IC设计与制造）