12月21日，《中国科学报》报道，上海交通大学教授肖文德领衔研发的具有自主知识产权的硅烷大规模生产新技术600吨/年中试生产项目，在河南平煤神马集团试车成功，并已连续稳定生产出纯度大于99.9999%的高品质硅烷产品。该项目的成功标志着高纯度硅烷大规模生产技术获得突破。

据了解，我国电子和大规模集成电路行业的芯片进口总额去年高达2300亿美元。其中，一个重要原因是缺乏高纯度晶体硅材料，而生产高纯晶体硅必须以高纯硅烷为基础。我国电子工业几十年来一直在寻找高纯硅烷大规模生产的方法，希望扫清中国信息产业发展的障碍。而生产高纯晶体硅材料是必须以高纯硅烷为基础的。

过去很长一段时间里，国内企业主要采用硅化镁为原料，规模小，成本高，产品纯度低；还有两家大型国有企业花费巨资引进了美国公司的技术。以氟硅酸为原料，投资大，成本高，纯度也不高，生存处境艰难。

肖文德教授凭借自己长期扎实的化工理论基础和工作实践，熟练运用化学反应工程的热门和前沿技术，以多功能反应器为基础，开创性地提出了基于三氯氢硅的硅烷生产技术。使原本不太可能的反应（转化率0.1%）可以实现接近100%的转化率。

2010年12月，中国平煤神马集团与上海交通大学签订战略合作协议，共同开发硅烷法多晶硅技术。根据协议，平煤神马集团先后投入2.0亿元，经过三年半时间的共同研发和建设，项目进展顺利。今年9月建成的中试装置，一次性试车成功。

（来源: 观察者网）