晶园工艺
 
台积电中科扩厂 10nm预计2017年生产
 2015-5-25
 

台积电位于中科的晶圆十五厂新建厂区,预计将于后年开始生产10纳米制程。公司并期许晶圆十五厂的开发能兼顾企业发展与环境友善共存,并成为台中生态环境保护的典范。

 

台积公司宣布,将台中市大肚山区晶圆十五厂扩厂区域内的树木,依树种属性、树木直径,以移植或补植的方式,就近优先在台中科园区第一、二期异地种植,另有部 分树木原地保留;并在扩厂区域内增加植树木,使得扩厂区域的植物固碳量较扩厂前提高10%,增加整体减碳效益;同时,亦针对日前传闻台积公司因晶圆十五厂 扩厂,将砍伐15万棵树之错误资讯提出澄清。

 

台积电指出,晶圆十五厂于2010年在台中科学工业园区设立,设厂之初,即以最严格的世界级标准做规划,务求减少能源耗竭,并尽力将自然资源回收再利用。营运至今,全厂制程水回收率已达90%、单位晶圆耗电量下降44%、单位晶圆面积用水量减少 62%、以及单位晶圆废弃物量下降40%。未来在节水、节电与废弃物处理方面会持续努力。

 

台积电位于中科的台积晶圆十五厂新建厂区,将用于10纳米技术的量产,预计在明年中开始安装机台,并于后年生产,将是公司在竞争激烈的半导体产业一个重要的里程碑。

 

(来源: 工商时报)