新产品技术
 
IBM以标准CMOS制程打造三五族FinFET
 2015-6-25
 

整体半导体产业正在尝试找到一种方法,不需要从矽基板转换而利用砷化铟镓(InGaAs)的更高电子迁移率,包括英特尔(Intel)与三星(Samsung);而IBM已经展示了如何利用标准CMOS制程技术来达成以上目标。

 

上个月IBM展示了一种将三五族(III-V)砷化铟镓化合物放到绝缘上覆矽(SOI)晶圆的技术,现在该公司有另一个研究团队则是声称发现了更好的方法,采用标准块状矽晶圆并制造出矽上砷化铟镓证实其可行性。

 

IBM Research先进功能材料部门经理、CMOS专家Jean Fompeyrine表示:“我们以块状矽而非SOI晶圆片着手,首先放上氧化层,然后做一个沟槽通过下面的矽晶圆;接着以其为根源长出砷化铟镓──这是可制造性非常高的程序。”

 

(来源: eettaiwan)