晶园工艺
 
凸版光罩上海厂将生产28与14纳米光罩
 2018-1-26
 

2018年1月24日消息:全球领先光罩供应商凸版光罩(ToppanPhotomasks, Inc.)宣布加码投资凸版上海工厂,针对先进光罩扩充全新的尖端量产设备。凸版上海为凸版光罩旗下子公司,专为半导体客户生产光罩。新增的尖端设备预计于2018年4月开始安装,首批安装的设备用于生产65/55纳米光罩,之后将逐步扩增其他新设备。 预计于2018年秋季全部安装完成,并于2019年上半年开始生产28与14纳米光罩。

 

凸版印刷股份有限公司董事、电子部门负责人Tetsuro Ueki表示:“决定扩充投资上海厂,目的是为了因应中国市场持续增长的需求。凸版印刷将持续投资,以强化我们在中国大陆尖端光罩的生产力,并结合我们在日本与中国台湾的生产优势。我们预估到2020年时,亚洲市场的规模将成长至约2.9亿元。”

 

凸版上海总裁TerryRussell表示:“除了现有的标准产品以及光罩护膜(repellicle)的生产服务,将藉由引进尖端设备,在中国建立先进光罩的生产能力。以因应在地客户短周期交货的需求。”

 

凸版光罩执行长MichaelG. Hadsell表示:“我们不仅针对10奈米以下制程持续生产次世代半导体光罩,同时亦着手研发各种尖端产品, 包括预期在7奈米世代将采用的EUV光罩。 我们了解到唯有持续推动这些投资,才能为客户提供高水平的服务,并在全球蓬勃发展的半导体相关市场中维持技术竞争的优势。”

 

凸版印刷在1961年跨入光罩事业后,便一直是业界的领导者,这全都要归功于其致力研发尖端技术及供货的能力。目前凸版印刷在日本拥有两座最先进的光罩光厂和研发中心,子公司凸版光罩在美国(1985)、法国(1988)、德国(2002)、中国(1995)、韩国(1989)拥有5座工厂。

 

凸版光罩除提供光罩外还提供FC-BGA基板和OCCF(on-chip color filter)。

 

(来源:芯华社)