2018年1月31日，由无锡华润上华科技有限公司与北京大学、东南大学、江苏物联网研究发展中心、中科院上海微系统所等8家单位联合承担的国家02科技重大专项 “集成电路与传感器集成制造与生产技术” 项目（简称“MEMS专项”）在无锡华润微电子通过项目正式验收。

MEMS专项的主要研究任务和目标是重点开展集成电路与传感器集成制造（包括芯片与MEMS制造和系统封装）技术研发，解决并掌握与CMOS工艺线兼容的MEMS规模制造的系列关键技术、集成产品设计与封装技术。建立专业化、具有规模化生产能力的硅基集成电路与MEMS传感器开放代工平台，实现规模生产。成为我国集成电路与传感器集成制造、生产与服务中心，为“感知中国”建设发挥核心支撑平台作用。

在国家02科技重大专项的大力支持下，MEMS专项通过产学研用的联合、完整产业链垂直整合的方式，突破多项MEMS传感器加工工艺的技术难点，解决了制约我国MEMS规模生产的工艺一致性、稳定性差的关键问题，成功建立国内首个与CMOS兼容的MEMS专业代工规模量产生产线，以压力传感器、硅麦克风、红外传感器等为代表的6大量产工艺平台总产出晶圆数超6万片，培育了20多家国内MEMS设计公司。通过项目的实施，还培养了一支层次高、专业技术能力强的人才队伍，累计共申请了发明专利316件（其中国际专利27件），已授权165件（其中国际专利5件），建立了MEMS产品设计服务平台，以及MEMS封装及测试服务平台，为促进我国MEMS自主研发体系的发展提供了很好的技术基础。

专项验收会议由中央候补委员、02专项办副总师王曦院士主持，02专项办总师叶甜春亲临现场参加项目验收、华润微电子陈南翔、张沈文等公司领导以及省市科技局的相关领导出席了本次会议。经过任务验收专家组和财务验收专家组对现场验收资料的认真审核、质询和讨论，验收组认为项目任务各项指标均已达到合同要求，项目支出符合相关管理规定，验收资料齐全，以任务验收91分的高分一致同意项目通过正式验收。

MEMS技术是公司经过近6年的努力，从无到有打造的核心特殊工艺平台，已经成为华润微电子在国内有影响力的一张响亮名片。此生产线的建设和工艺平台的开发，解决了国内MEMS产业发展过程中的瓶颈制约，一方面为MEMS产品的国产化作出了重要贡献，推动了国内MEMS产业的发展；另一方面将在公司发展过程中起着十分关键的作用。它不但为公司创造了良好的经济效益，MEMS系列工艺平台的毛利率在公司所有产品和技术中名列前茅；同时也是公司聚焦功率半导体和传感器产品方向的重要基础。

验收总结会上，02专项办总师叶甜春对该项目的成功实施给予了高度评价。他说MEMS项目是所有02专项项目中完成情况最好的项目之一，得到这样的评分并不多见。该项目是国家微电子产业发展战略布局中的重要环节，华润微电子作为项目牵头单位，在项目实施过程中虽然遇到众多的不解和技术难题，但通过有效地组织国内优质资源，持之以恒、坚持不懈地努力，最终取得了良好的成效，充分反映了参与项目的科研人员对微电子事业的追求和情怀；此项目也是推动“产学研”合作的成功典范。项目整合了华润微电子、中科院微电子所、中科院微系统所、北京大学和东南大学的优质资源和前期研究成果，实现了科技成果的产业化。最后，他希望华润微电子站在高处放眼未来，在更高的台阶上筹划企业的发展，成为国内领先的微电子企业，为中国微电子产业的发展作出应有的贡献。

华润上华科技有限公司为华润微电子有限公司旗下从事开放式晶圆代工业务的专业公司，于中国模拟晶圆代工行业处于领先地位，于中国、亚洲及海外地区拥有逾二十年服务客户的经验。公司为其客户提供主流和成熟工艺技术的晶圆代工服务，是目前中国内地规模最大的6英寸开放式晶圆代工企业，拥有每月逾21万片6英寸晶圆产能及6.5万片8英寸晶圆产能，可为客户提供更丰富的工艺平台与代工服务。

（来源：微电子制造）