晶园工艺
 
中芯国际向ASML订购新型EUV光刻机
 2018-5-17
 

业内最新消息,全球最大的芯片机器制造商、荷兰的AMSL证实,中国向荷兰订购一台最新型的使用EUV(极紫外线)技术的芯片制造机器光刻机,订货单位是中芯国际(SMIC)。这也几乎花掉了中芯国际2017年的所有利润,该公司去年的净利润为1.264亿美元。

 

日经亚洲表示,台积电、英特尔和三星等半导体巨头都已经向 ASML 采购了 EUV 光刻设备,台积电预定了10套,三星6套,英特尔3套。更可怕的是,ASML 是世界上唯一一个能够制造 EUV 光刻机的厂商,并且产量极低,所有产能早在生产之前就已经被预订一空。据介绍,ASML 计划在2018年生产20台 EUV 光刻机,中芯国际的这一台将会在2019年交付。

 

对于中芯国际斥巨资预定 EUV 设备,日经亚洲表示虽然中芯国际的技术落后三星、台积电两到三代,现在还在 28nm 和 14nm ,但是拥有 EUV 光刻机之后,对于中国自主研发半导体技术是有着重大意义的。

 

不过也有很多人对这一消息提出了质疑,因为根据瓦森纳协议,ASML 等厂商是不被允许向中国销售顶级光刻机的。不过 ASML 的一位发言人表示,他们并没有违反瓦森纳协议,所有客户都是完全平等的,只要客户下单,EUV要进口到中国完全没有任何问题。

 

(来源:中国半导体论坛)