12月19日晚间，中国首台ASML NXT2000i正式搬入SK海力士位于无锡的工厂。据ASML证实，此次入驻SK海力士无锡工厂确为NXT2000i，也即NXT2000。ASML解释道，i是immersion的意思。NXT2000都是immersion的机器。所以NXT2000即NXT2000i。

据了解，无锡是SK海力士在中国的DRAM内存芯片生产基地，目前每月晶圆的产量约为14万片。同时，SK海力士还成立了SK Hynix System IC公司，开始进军晶圆代工市场，同时增加1000万美元投资，在无锡扩大模拟IC芯片业务。

今年8月份曾有消息表示，ASML已经开始出货新品Twinscan NXT2000i DUV(NXT2000i双工件台深紫外光刻机)，可用于7nm和5nm节点。NXT2000i将是NXE3400B EUV光刻机的有效补充，毕竟台积电/GF的第一代7nm都是基于DUV工艺。同时，NXT2000i也成为了ASML旗下套刻精度(overlay)最高的产品，达到了和3400B一样的1.9nm(5nm要求至少2.4nm，7nm要求至少3.5nm)。

据悉，SK海力士主要在韩国利川和中国无锡工厂生产DRAM。SK海力士中国无锡包括一期和二期工厂，二期工厂将在2018年底完成清洁室的安装，预计2019年即可进入投产阶段。同时，SK海力士于19日在利川总部举行了“M16奠基仪式”，将建造满足未来需求的先进半导体工厂，该工厂计划于2020年10月完工。新工厂M16是在利川新建M14工厂之后的第三座Fab工厂，可能将用于生产DRAM，或者跟M4一样是生产NAND Flash和DRAM的混合工厂。SK海力士也表示M16工厂规划将视未来需求而定。

（来源：微电子制造）