晶园工艺
 
华润微电子建设12英寸功率半导体晶圆生产线的挑战是公司的技术与客户储备
 2019-3-1
 

据华润集团2019年2月27日发布消息称,集团旗下华润微电子将建设一条12英寸功率半导体晶圆生产线。这将是同内首条专注功率半导体的生产线。

 

华润集团消息称,建设12英寸功率半导体晶圆生产线,将带动国内功率半导体制造工艺与国际先进水平接轨,也有利于华润微电子功率半导体的技术提升,同时也是华润微电子进入工业控制和汽车电子市场的需求,有助于大力提升核心竞争力。

 

实际上,华润微电子重庆基地前身是渝德科技,是台湾茂德科技在重庆设立的子公司,其两座厂房都是按照12英寸的规格进行设计的。华润微电子重庆基地现拥有一条年产51000片8英寸、工艺能力可达0.18微米的生产线,并建有独立的特色工艺线,具备MEMS传感器和化合物半导体产品的规模化工艺制造能力。现在要建设12英寸生产线,只要建设洁净室,购买设备进行安装调试就可以,大大缩短了工程建设时间。

 

华润微电子12英寸发展历程

 

我们先来回顾一下华润微电子12英寸功率半导体晶圆生产线的历程。

 

华润微电子12英寸功率半导体晶圆生产线规划早就开始了。在2017年12月28日,华润微电子(重庆)有限公司成立仪式上,华润微电子有限公司常务副董事长陈南翔就表示,华润微电子不会满足于重庆公司现有8英寸线的业态,会充分利用重庆公司的厂房、土地等资源,发展12英寸晶圆生产线,将其打造为华润微电子未来发展的引擎。

 

2018年4月3日,华润微电子、重庆市市经济和信息化委员会、重庆西永综合保税区管委会签署功率半导体基地项目投资协议。协议表明,华润微电子将在重庆扩大投资设立国家级功率半导体研发中心、扩大晶圆制造产能、建设外延片生产基地,助推重庆市打造全国最大的功率半导体基地。

 

2018年11月5日,华润微电子与西永微电园签署协议,共同发展12英寸晶圆生产线项目,该项目投资约100亿元,建设12英寸功率半导体晶圆生产线,将主要生产MOSFET、IGBT、电源管理芯片等功率半导体产品。

 

为保障12英寸功率半导体晶圆生产线的建设和运营,2018年已启动在重庆建设配套的12吋功率半导体封测基地,2019年1月11日华润微电子(重庆)有限公司功率半导体技术创新中心揭牌。创新中心布局功率半导体前瞻性领域的研究,聚焦LVMOS、SGMOS等及模块的研发,将与高等院校开展产学研协同创新合作,引进高端专业人才,建设国内领先的技术团队,形成一流的功率半导体产品制造能力,潜心打造一流的产品技术创新和产业化制造能力,建设高性能计算与仿真设计平台、一流的功率电子器件可靠性测试平台,并争取在2020年底前获得国家级企业研发中心认定。

 

全球12英寸功率半导体情况

 

目前全球采用12英寸生产模拟和功率半导体的厂商确实不多,国际厂商IDM有德州仪器(TI)、英飞凌(Infineon)和意法半导体(STM)采用自家晶圆厂生产,安森美(ON SEMI)在台湾力晶科技(PowerChip)的12英寸晶圆代工生产部分产品。

 

全球模拟巨头德州仪器在其美国的12英寸生产线生产,该生产线采用的是收购自飞索(spansion)的二手设备,具备成本优势。

 

英飞凌在其德国的12英寸生产线进行研发,在其奥地利的12英寸生产线进行批量生产,并拥有独特的减薄技术,主力产品IGBT。

 

意法半导体在其位于法国的12英寸生产线生产模拟和射频产品。

 

万国半导体(AOS)在重庆建设12英寸功率半导体生产线,其封装基地已经于2018年第三季投产。芯思想研究院和万国半导体高层人士沟通,该人士表示,已经在安装调试设备,在投产时间还没确定,。

 

另外,华虹半导体在无锡建设的12英寸晶圆厂也将生产功率半导体产品,计划于2019年12月正式投产。

 

华润微电子12英寸的挑战

 

笔者认为,抛开产品因素外,华润微电子12英寸功率半导体晶圆生产线背后真正挑战是公司的技术与客户储备!

 

尽管华润微电子有限公司多年来一直聚焦于模拟与功率半导体等领域,致力于模拟/混合信号工艺和功率器件/电路工艺的开发,已经形成独特的BCD、Mixed-Signal、HV CMOS、RF CMOS、eNVM、BiCMOS、Logic、MOSFET、IGBT、SOI、MEMS、Bipolar、硅基GaN等标准工艺及一系列客制化工艺平台,提供1.0-0.11µm的工艺制程,在功率模拟工艺技术方面具有核心竞争力,在电源管理和功率半导体器件等产品领域积累了特色工艺技术和系列化产品线,能够为客户提供丰富的产品与系统解决方案。

 

但毕竟华润微电子只有6英寸和8英寸功率半导体的技术储备,而其现有客户对12英寸的期待有多大,都值得关注。

 

不管如何,既然早晚是要和国际巨头同台竞技,那就让我们行动起来吧!

 

衷心祝愿“以发展民族微电子产业为己任”的华润微电子,不忘初芯,以实业兴国,圆中国功率半导体强国梦,圆中国IDM强国梦。

 

(来源:芯思想)