设备材料
 
姚力军:要更加注重电子材料产业的发展
 2019-3-26
 

集成电路微细化制程技术日新月异,产业技术持续遵循摩尔定律快速更新,配线特征尺寸不断减小,使得芯片具有更高运转速度、更强性能、更低功耗。

 

在市场需求拉动和国家相关政策的支持下,中国集成电路行业保持着平稳快速、稳中有进的发展态势。我国是全球半导体材料第二大市场,但国产材料占全球份额却极低,市场几乎被美日等发达国家占据。我国芯片产业落后于发达国家的主要原因是缺乏芯片制造的装备和材料等方面的核心技术,溅射靶材是制约芯片产业发展的关键材料之一。

 

可喜的是,国内集成电路技术近几年不断取得突破,产品质量不断提升。以江丰电子为代表的靶材企业,让国产半导体靶材进入高端应用领域并让用户批量使用,挤占了国际厂商的市场空间,并出口到韩国、日本及我国台湾。

 

江丰电子攻克了芯片制造用超高纯金属材料的提纯及溅射靶材制备的核心技术,开发出用于芯片制造的超高纯金属溅射靶材的全套生产工艺,建立了拥有自主知识产权的研发、生产、品质管理等体系,设计并建设了完全基于国产化装备的世界一流的溅射靶材生产基地,实现了超高纯铝、钛、钽、铜等全系列先端靶材的产业化,打破了美日对我国的垄断。目前,江丰电子占有芯片用溅射靶材中国市场份额第一,全球市场第二,把一个完全依赖从国外进口的短板产业,做成了可以大规模出口并参与国际竞争的优势产业。

 

尽管如此,为迎接溅射靶材巨大的产业化机遇,缩小国内外溅射靶材的差距,国内企业需在产品、工艺、应用上突破技术瓶颈。作为新兴的、蓬勃发展的靶材产业,必然会遇到各种各样的技术难题。攻克靶材产业发展过程中遇到的技术难题,可以采用自主研发和国外引进相结合的方法。由于靶材产业技术更新换代较快,国外对核心技术设置壁垒,引进难度很大;另外,国内外设备、技术、人员情况存在或多或少的差异,引进的技术也不能完全照搬,必须经过消化、吸收才能转化成适用的技术。这就需要一个平台,凝聚一批专家,通过坚持不懈的研究努力,创造出切实可行、经济适用的材料解决方案。

 

研制靶材既要重视应用研究,也要重视基础研究。基础研究取得成果所需周期较长,且不能直接带来经济效益,难以满足企业要求见效快、追逐利润的目标。但如果缺乏基础研究,应用研究的发展就会遇到一定的研发瓶颈,从而限制应用研究的发展。这就需要国家及地方给予扶持,搭建专业化研发平台,集中优势资源,保障研发资源专用,产学研开放合作,积极推进科技成果产业化,使基础研究及应用研究取得双丰收。

 

(来源:中国电子报、电子信息产业网)