近日，美国半导体设备企业发函，禁止中方将采购的设备作为军用，并可无限追溯。 迹象显示，美国对中国高新技术尤其是半导体产业的管控继续收紧。同时也意味着，大力发展自主的配套产业，助力中国半导体产业突围，更加迫在眉睫。

电子气体是集成电路、平板显示、分立器件、光伏、光纤等电子工业生产不可或缺的重要原材料。电子气体种类众多，在半导体制造中，广泛应用作保护气体、载气以及用于外延、扩散、掺杂、蚀刻、CVD、清洗等工艺当中。在多个国际贸易纠纷及产业逆全球化的大背景下，中国电子气体国产化将是重要一环。

在电子气体领域，空气化工、林德-普莱克斯、液化空气、大阳日酸等国际气体公司占据着中国绝大部分电子气体市场。国内本土气体企业的市场份额不到20%。而蓬勃发展的芯片制造产业和OLED显示制造业，对电子气体需求量极速攀升。

而中国本土的气体生产企业也在快速切入电子气体领域或是扩充电子气体产能。国内电子气体项目目前主要以掺杂气、含氟电子气体、大宗电子气体为主。布局电子气体项目的有：南大光电、正帆科技的砷烷、磷烷，凯美特气的激光混配气，和远气体的高纯氨，雅克科技、中船重工718所的NF3、WF，昊华科技的高纯氯，中巨芯的六氟丁二烯，绿菱气体的SiF4等项目。 电子气体国产化是未来行业发展的必然趋势，抓住发展机遇是中国电子气体企业的突破关键！

（协会秘书处）