IBM宣布造出全球首颗2纳米芯片
5月6日,IBM宣布造出全球第一颗2纳米工艺的半导体芯片。
据称其晶体管密度为333.33百万颗晶体管,为台积电5nm密度的两倍(台积电3纳米工艺制造晶体管密度为292.21百万颗),在150平方毫米(指甲盖大小面积)能容纳500亿颗晶体管。其性能较7纳米高出45%,功耗减少75%。据IBM称,该芯片实现栅长12纳米,采用GAA(环绕栅极晶体管)技术和第一次使用底介电隔离通道,其内部间隔是第二代干法设计,有助于纳米片的开发;并第一次使用EUV曝光FEOL部分过程。其突破性技术是展示了采用2纳米CMOS工艺在标准300毫米硅晶圆上蚀刻出真实芯片的过程。
IBM在1997年发明铜互连技术,2000年发明硅绝缘子技术、2001年发明低K电介质,在DRAM自研3D芯片堆叠技术等,都使半导体制程技术得到了飞跃,作出贡献。2014年IBM把制程低价给了格芯,成就了格芯,格芯止步于7纳米
(协会秘书处)