据SEMI报道，由于世界经济较好复苏和半导体市场较高速度增长，对半导体制造设备需求增长，2021年世界半导体设备市场销售额预计达953亿美元，同比增长34%；2022年世界半导体设备需求超1000亿美元，预计达1013亿美元，同比增长5%。

2021年晶圆制造设备为817亿美元，同比增长34%，占85.7%；2022年为869亿美元，同比增长6.4%，占85.8%。

2021年逻辑/代工制造设备为457亿美元，占55.9%；2022年为494亿美元，同比增长8.1%，占56.8%。

2021年封装业设备为60.1亿美元，同比增长56.1%；2022年为63.9亿美元，同比增长6.3%。

2021年测试设备为75.8亿美元，同比增长26.1%；2022年为80.1亿美元，同比增长5.7%。

2021年DRAM制造设备达140亿美元，同比增长46%。

2021年NAND制造设备达174亿美元，同比增长13%；2022年增长9.0%，达189亿美元。

2021年世界半导体设备市场区域分布：韩国、中国台湾、中国大陆为前三大销售市场；韩国因其在内存复苏及逻辑和代工的强劲投资居首位。其他国家/地区均有较大的增长。

用于半导体制造设备的电源和反应气体子系统的销售额2016年到2021年的CAGR（复合增长率）达23%，远远大于关键子系统行业平均16.4%的平均水平。

（JSSIA整理）