近日，滁州华瑞微电子科技有限公司半导体IDM项目竣工投产。

据了解，该项目首期项目已购置300台套进口光刻机、离子注入机、等离子刻蚀机等设备，近日已进入试产阶段，主要生产6英寸晶圆。

2020年8月，华瑞微与南谯经济开发区管委会签订投资合作协议，共建产业园。一期投资10亿元，占地100亩，建筑面积约8万平方米。一期达产后，可年产6英寸晶圆72万片，预计年销售收入10亿元，纳税5000万元。二期用地200亩，计划投资20亿元，全部达产后，年销售额预计30亿元，税收2亿元。

资料显示，华瑞微创建于2018年5月，是一家集功率器件产品研发、生产、销售和服务于一体的企业，已经研发成功且量产的产品包括高压VDMOS、低压Trench MOS、超结MOS和SGT MOS，同时正在开展第三代半导体（SiC、GaN）功率器件的研发工作。

（来源：微电子制造/JSSIA整理）