3月24日，格科微有限公司“12英寸CIS集成电路特色工艺研发与产业化项目”成功搬入整套生产线中的最关键设备——ASML ArF光刻机。ArF光刻机的引入，是格科微“12英寸CIS集成电路特色工艺研发与产业化项目”建设的关键节点。

根据此前的公开信息，格科微12英寸CIS集成电路特色工艺研发与产业化项目以格科半导体（上海）有限公司作为实施主体，总投资22亿美元（约合人民币140.05亿元），在临港建设一座12英寸、年产72万片的CIS集成电路特色工艺产线，于2020年3月正式签约，同年11月正式开工，2021年8月16日举行封顶仪式，项目一期计划于2022年投产使用。、

（来源：全球半导体观察/JSSIA整理）