晶园工艺
 
赛微电子北京FAB3首批BAW滤波器8英寸晶圆小批量试生产
 2022-6-15
 

6月13日,赛微电子发布公告称,2022年6月12日,公司控股子公司赛莱克斯北京代工制造的某款BAW(Bulk Acoustic Wave,带谐振腔体声波滤波器)通过了客户验证,北京FAB3启动首批BAW滤波器8英寸晶圆的小批量试生产。

 

赛莱克斯北京是由赛微电子全资子公司北京赛莱克斯国际科技有限公司与国家集成电路产业投资基金股份有限公司共同投资的8英寸MEMS国际代工线项目公司,主要从事MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems 的缩写,即微电子机械系统,简称为微机电系统)的生产代工业务。

 

 

赛微电子称,本次BAW滤波器的验证通过和启动试产,标志着北京FAB3在MEMS高频通信器件领域的专业制造能力达到一个新的里程碑,公司技术团队将继续努力奋斗,持续改进工艺、提高良率,尽快实现BAW滤波器的规模量产。

 

尽管已在多领域实现MEMS制造技术的积累和突破,但北京FAB3仍处于运营初期,产线的产能爬坡、良率提升是一个持续的过程,产能扩充及产量目标的实现尚需一定时间。

 

(来源:集微网/JSSIA整理)