12月27日，御微半导体首台晶圆套刻量测设备HOUYI产品发运仪式于合肥御微举行。

作为半导体光刻工艺核心指标之一，套刻误差直接影响层与层之间的对准精度，对半导体芯片的器件性能和良率起着决定性影响。御微半导体自主研发的晶圆套刻量测设备HOUYI产品，采用御微自研关键元件，可满足前道制程套刻量测要求。

御微半导体是一家从事集成电路制造装备的科创企业，专注集成电路光学量检测系统设计与系统集成，产品涵盖掩模版检测、晶圆检测、泛半导体检测、晶圆测量等4大领域。

（JSSIA整理）