9月20日，有研亿金集成电路用高纯溅射靶材项目在山东德州投产。
据介绍，该项目总投资6亿元，主要生产高端集成电路芯片用同系列靶材，钽靶、钴靶及其他高端靶材阳极产品，投产后年产能能够达到4.3万块。
据悉，有研亿金集成电路用高纯溅射靶材项目投产后，德州市将成为华北地区最大的集成电路用高纯溅射靶材生产基地。
（JSSIA整理）