2023年9月，科友首批自产8英寸SiC衬底成功下线。

据介绍，科友半导体在6英寸晶体厚度超过40mm的基础上，8英寸晶体直径超过210mm，厚度目前稳定在15mm以上。6英寸晶体位错缺陷密度＜3000个cm-2，8英寸晶体微管密度＜0.1个cm-2，位错缺陷密度＜5000个cm-2。

据了解，哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司成立于2018年5月，专注于第三代半导体装备研发、衬底制作、器件设计、科研成果转化，研发覆盖半导体装备研制、长晶工艺、衬底加工等多个领域。

（JSSIA整理）