近日，中导光电设备股份有限公司（简称“中导光电”）纳米级图形晶圆缺陷光学检测设备（NanoPro-150）交付客户。

据介绍，此次交付用户的NanoPro-150产品灵敏度系纳米级序列，满足半导体芯片90nm及以上产线制造工艺需求。NanoPro-150是NanoPro-1XX系列中的高端产品，引入了AI算法和软件，进一步提高了信噪比，提升了设备在关键制程的缺陷检测灵敏度和检出率。同时，该产品实现了精密光机电关键核心部件的国产化和自主可控。

中导光电表示，本次交付的设备将用于国内功率半导体头部公司的量产线，加之前期该型号设备已在功率半导体知名企业产线长期量产使用。

（JSSIA整理）