ASML第二台High-NA EUV光刻机开始交付
ASML于4月17日宣布,已开始向另一家客户交付第二台High-NA EUV光刻机。
ASML首席商务官Christophe Fouquet在财报电话会议上透露,公司启动了第二套设备的发货。但ASML没有透露第二家客户的身份。
2023年底到2024年年初,ASML向英特尔的交付了首台High-NA EUV光刻设备Twinscan EXE:5000。
ASML近期发布的帖子和照片表示,High NA设备已成功印刷10nm线宽图案。据ASML网站称,该设备的理论极限分辨率是8nm。
(JSSIA整理)