据佛山南海区科技局官微消息，7月11日，广东中科半导体微纳制造技术研究院（以下简称“广东微纳院”）半导体微纳加工中试平台通线暨项目签约仪式在佛山南海举行。

据介绍，平台建成后，将具备8英寸硅晶圆和氮化镓晶圆加工能力。广东微纳院消息显示，半导体微纳加工中试平台建有8英寸硅晶圆及8英寸(向下兼容)氮化镓(GaN)晶圆加工线，拥有超百台芯片加工设备，涵盖光刻、镀膜、刻蚀、掺杂、量测等全流程工艺；半导体材料外延与表征中试平台专注于第三代半导体材料外延生长技术，拥有10余套材料外延生长的MOCVD设备和20余套满足各类材料/器件检测的测试设备，具备8英寸硅晶圆及硅基氮化镓晶圆切割加工、大功率LED陶瓷封装等能力。

广东微纳院是由佛山市、南海区两级政府共同建设，聚焦芯片制造环节，搭建先进半导体工艺研发体系，形成半导体材料外延生长、芯片加工、封装测试等全链条中试服务模式。

当日举行了二期产业孵化区封顶仪式，6家企业与广东微纳院签订了意向落户协议，三期项目规划正在推进。

（来源：SEMI/JSSIA整理）