盛美上海推出新型面板级电镀设备
8月8日,盛美上海宣布推出用于扇出型面板级封装(FOPLP)的Ultra ECP ap-p面板级电镀设备,进一步拓展扇出型面板级封装产品线。
据介绍,盛美上海的Ultra ECP ap-p面板级电镀设备可加工尺寸高达515x510毫米的面板,同时具有600x600毫米版本可供选择。该设备兼容有机基板和玻璃基板,可用于硅通孔(TSV)填充、铜柱、镍和锡银(SnAg)电镀、焊料凸块以及采用铜、镍、锡银和金电镀层的高密度扇出型(HDFO)产品。该设备采用盛美上海自主研发的技术,可精确控制整个面板的电场,适用于各种制造工艺,可确保整个面板的电镀效果一致,从而确保面板内和面板之间的良好均匀性。
此外,Ultra ECP ap-p面板级电镀设备采用水平(平面)电镀方式,以及自动化和机械臂技术,以确保整个电镀工艺过程中面板被高效和高质量的传输。
(JSSIA整理)