近日，盛美半导体设备研发与制造中心落成暨投产典礼在上海市临港新片区顺利举行。

资料显示，盛美临港项目是盛美清洗、电镀、先进封装湿法、立式炉管、涂胶显影和PECVD等高端半导体装备基地。项目共有5个单体，包含两座研发楼、两座厂房和一座辅助厂房，总建筑面积13.8万平方米。其中厂房面积4万平方米，分厂房A和厂房B。

据介绍，厂房A的产能可以达到现有的上海川沙工厂的产能，年产可以实现300-400台。到明年厂房B装修完毕投入使用后，预计实现两座厂房百亿产能。

（JSSIA整理）