3月25日消息，天眼查App显示，上海精测半导体技术有限公司新增国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司、上海精璇管理咨询合伙企业（有限合伙）、上海精昕管理咨询合伙企业（有限合伙）为股东，注册资本由约13.7亿人民币增至约20.7亿人民币

国家大基金一期、二期通过分别持股4.82%，合计持有上海精测逾9.6%股份；上海青浦投资、上海半导体装备材料基金等国有资本亦各持股4.82%。

上海精测成立于2018年7月，专注于半导体前道制程量检测设备的研发与产业化，已推出薄膜厚度量测、关键尺寸量测、有图形晶圆检测等设备。

行业分析人士指出，大基金的注资不仅提供资金支持，更将助力上海精测对接上下游资源，加速产品在晶圆厂的验证与导入

（JSSIA整理）