3月26日，在SEMICON China 2025展会上，北方华创（Naura）推出首款离子注入机Sirius MC 313，正式进军离子注入设备市场。

离子注入是一种将所需要的掺杂剂注入到半导体或其他材料中的一种技术手段。在芯片制造流程里，除了备受关注的光刻、刻蚀、薄膜沉积等环节，离子注入设备同样占据着极为关键的地位。离子注入设备能够以极高的精度和效率，将特定元素的带电离子注入半导体材料，从而精准改变材料的电性能，为芯片制造提供不可或缺的技术支撑。

北方华创此次发布的SiriusMC313，瞄准了逻辑、存储、特色工艺及化合物半导体等领域。

（JSSIA整理）