8月15日，无锡亘芯悦科技有限公司28纳米关键尺寸电子束量测量产设备在无锡高新区成功出机。

此次出机的28纳米关键尺寸电子束量测设备由无锡亘芯悦科技有限公司自主研发，在电子光学系统、运动平台、电子电路以及软件系统等多个核心领域实现了完全自主设计与制造。

电子束晶圆量测设备是芯片制造过程中除光刻机外技术含量最高、最为关键的设备之一。CD-SEM（关键尺寸量测设备）通过精确测量芯片制造过程中的关键尺寸，实现对光刻工艺后形成图形的尺寸监控，从而保障产品良率和工艺稳定性。

无锡亘芯悦科技有限公司成立于2022年，专注于半导体前道量测与检测设备的研发与制造，目前已形成覆盖多种半导体制造工艺需求的全系列关键尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM）产品线。

（JSSIA整理）