第三代半导体
 
晶盛机电12英寸SiC中试线通线
 2025-9-28
 

9月26日,根据晶盛机电消息,其子公司浙江晶瑞SuperSiC首条12英寸碳化硅衬底加工中试线正式通线。

 

相较8英寸产品,12英寸SiC衬底单片晶圆产出量提升约2.5倍,可显著降低长晶、加工和抛光等环节的单位成本,被视为推动下游应用降本增效的重要路径。

 

晶盛机电表示,此次贯通的中试线覆盖晶体加工、切割、减薄、倒角、研磨、抛光、清洗及检测全流程工艺,所有环节均采用国产设备与自主技术。其中,高精密减薄机、倒角机、双面精密研磨机等核心设备均由公司多年研发攻关完成。

 

(JSSIA整理)