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影速FPD激光直写曝光设备FEM系列交付
 2025-10-29
 

江苏影速集成电路装备股份有限公司成立于2014年,荣获国家专精特新小巨人及高新技术企业称号,累计专利超百项。公司核心业务专注于解决我国电子产业链中设备制造环节的技术短板,尤其在PCB和半导体光刻设备领域取得显著成果。其FPD激光直写曝光设备FEM系列,更是实现面板制造全流程贯通的“重器”。

 

其FPD激光直写曝光设备FEM系列能够精准控制激光的曝光参数,实现微米级甚至纳米级的图形加工精度,大大提升了面板制造的质量和良品率。同时,其高效的曝光速度,有效缩短了生产周期,降低了生产成本,为我国面板制造产业在全球高端市场的竞争中赢得了宝贵的时间和成本优势,成为推动“中国屏”迈向全球高端制造行列的重要力量。

 

FEM系列全面覆盖G4至G10.5代线的全尺寸曝光技术,影速已与国内多家面板生产头部企业的深度合作,市场认可度显著提升。

 

深耕五大核心领域,诠释面板制造“精度密码”

 

FEM系列凭借其稳定的性能和精准的曝光能力,在五大场景凸显价值,成为定义面板制造“精度密码”的关键力量。

 

•UV - Glass 生产:在超薄玻璃实现微米级线宽刻画,保障透光率与均匀性,奠定显示效果基础。

 

FEM/CMM 金属掩膜版制造:高功率紫外激光配合动态聚焦,突破传统套刻精度限制,提升柔性OLED掩膜版良率,打破国外垄断。

 

•大尺寸通用掩膜板制造:多场同步曝光技术将拼接误差控制在2μm内,支撑65-110英寸大尺寸面板量产。

 

•面板曝边打码:集成自主算法与光源系统,曝光时同步实现自定义编码打印,提升生产效率与准确性。

 

•全流程研发赋能:支持小批量、多品种快速切换,缩短面板企业研发周期,助力抢占市场先机。

 

四大核心战略价值,助力产业突破重围

 

此前,我国面板上游设备面临“卡脖子”困境,高端掩膜版严重依赖国际巨头,而曝边打码设备则被日韩企业垄断。FEM系列凭借四大核心价值,重新构建了行业格局:

 

•国产替代:核心部件100%自主研发,摆脱进口依赖,保障供应链安全。

 

•技术迭代:自主激光直写技术分辨率达1μm,支持Micro LED等新型显示研发,推动制造升级。

 

•定制服务:提供“设备+工艺”方案,适配不同需求,赋能客户创新。

 

•数据可控:全流程数据国内闭环处理,规避技术泄露,保障关键领域信息安全。

 

 

入选 “三首两新”,尽显硬核实力

 

影速曝光机成功入选江苏省“两新”技术产品名录,这不仅是对其技术实力的高度认可,更标志着我国在面板制造关键设备领域取得了重要突破。该设备凭借其独特的激光直写技术,在微米级精细加工方面展现出卓越性能,能够实现超薄玻璃的微米级精细刻画,为FPD行业的高质量发展提供了有力支撑。同时,它支持快速切换功能,有效缩短研发周期,并突破传统套刻精度的限制,显著提升产品良率,充分展现了其在技术与实用方面的双重优势。

 

研发历程:勇攀高峰,打破垄断

 

在研发过程中,团队遭遇了技术资料匮乏、实验条件受限等诸多挑战。但他们凭借着坚定的信念和不懈的努力,逐一突破技术瓶颈。通过深入钻研国际前沿技术,结合自身实践探索,不断优化设计方案。在核心部件研发上,团队成员日夜奋战在实验室,反复测试不同材料和工艺,最终找到了最适合的组合。在精度提升方面,他们建立了严格的测试标准,对每一个环节进行精准把控。经过持续的攻坚,FEM系列设备不仅在性能上与国际同类产品相媲美,而且在价格和售后服务上更具优势,成功打破了国外设备的垄断,为我国面板制造产业的发展赢得了主动权。

 

未来展望:迈向全球一流水准

 

影速以“成为全球一流微电子装备供应商”为愿景,专注于集成电路光刻设备及量检测设备的研发,持续加大投入,紧密围绕客户需求与前沿技术创新,助力我国微电子装备产业挺进全球高端市场。FEM系列是中国面板产业自主创新的典范。随着更多“硬核科技”的不断涌现,“中国屏”必将在全球绽放夺目光彩,公司将深化与头部面板制造商的战略合作,推动中国微电子装备从"跟跑"向"并跑""领跑"转变。

 

(来源:影速公司)