综合信息
 
陕西光电子先导院8英寸先进硅光集成技术创新平台通线
 2025-11-7
 

11月4日,陕西光电子先导院建设的“8英寸先进硅光集成技术创新平台”宣告通线。

 

该中试线总投资7.5亿元,于2023年底启动建设,至2025年9月末已完成全部场地及硬件设施建设,引进了比利时IMEC“130nm硅光芯片工艺包”,并引入了光刻、刻蚀等60余台(套)关键核心设备,已在130nm有源集成硅光主工艺平台基础上,开发90nm以上先进工艺。

 

陕西光电子先导院总经理杨军红表示,8英寸硅光平台预计将于2026年完成有源产品通线,包含高性能调制器、探测器等核心器件,将加速可应用于人工智能、光通信、光计算、智能驾驶、低空飞行、医疗健康等领域的产品迭代进程。

 

(JSSIA整理)