11月25日，上海芯上微装科技股份有限公司（AMIES）宣布，其自主研发的首台350nm步进光刻机（AST6200）正式完成出厂调试与验收，启程发往客户。

据介绍，AST6200光刻机专为功率、射频、光电子及Micro LED等先进制造场景量身定制，可实现350nm高分辨率，正面套刻80nm，背面套刻500nm。该光刻机拥有高照度I-line光源（365nm）；高速直线电机基底传输系统，支持2/3/4/6/8英寸多种规格基片快速切换；高速高精度运动台系统，最大加速度1.5g，大幅提升单位时间产能。此外，AST6200光刻机还具备高产率设计、强工艺适应性、100%软件自主可控等亮点。

芯上微装成立于2025年02月，专注于高端半导体装备研发、生产和服务，主力产品为晶圆级先进封装光刻机、激光退火设备和前道晶圆缺陷检测设备。

（JSSIA整理）