2026年1月22日，先导科技集团旗下上海元创科芯半导体科技有限公司在中国（上海）自由贸易试验区临港新片区举行“半导体核心零部件及系统项目”开工启动仪式。

该项目由上海元创科芯半导体有限公司投资50亿元，占地约108亩，总建筑面积15万平方米，主要建设质量流量控制器（MFC）、前驱体输送系统和定制化方案、在线监测解决方案及传感器、先进陶瓷解决方案、特种电源、半导体真空解决方案等在内的半导体设备核心零部件产品线。项目计划用18个月建成投产，投产后3年达产，达产后可实现年产值约93.5亿元。。

（JSSIA整理）