1月23日,海目芯微宣布成功研制出12英寸碳化硅单晶晶锭。
据介绍,该成果依托海目芯微自主研发的电阻式长晶设备与持续迭代的工艺,通过创新温场设计与晶体完整性控制,实现了晶体高质量稳定生长,在核心技术与工艺上取得双重突破。
海目芯微成立于2021年3月,系海目星激光旗下子公司。其专注于半导体及泛半导体高端装备的研发与制造,核心业务已覆盖微米级光刻机、第三代半导体(SiC)装备等四大产品系列。
(JSSIA整理)