3月25日消息，北方华创发布全新一代12英寸高端电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备——NMC612H。

据介绍，NMC612H聚焦先进逻辑与先进存储领域关键刻蚀工艺需求，针对性攻克超高深宽比、超高均匀性、精确形貌控制等行业痛点，突破了精准偏压控制、射频多态脉冲控制等多项核心技术。设备搭配全国产超百区独立控温静电卡盘及自主知识产权温控算法，将ICP小尺寸刻蚀深宽比提升至数百比一，可满足更先进节点芯片制造需求。

设备还搭载AI赋能的工艺配方优化及大数据分析平台，将刻蚀工艺调试与机台诊断升级为AI辅助与专家经验协同模式，有效提升问题定位效率与运行稳定性。

（JSSIA整理）