6月3日，诺峰半导体华中研发与制造基地在武汉蔡甸区正式投产。
该项目总投资25亿元，此次投产的核心设备为CMP化学机械抛光机。相关负责人介绍，当前调试的第二代CMP正稳步推进中试，预计今年6月完成验证，12月正式量产，今年计划量产50台。
按照六期规划，诺峰将依次落地CMP、ALD薄膜设备、清洗机、刻蚀、光刻、涂胶显影等全品类前道装备，打造完整产业链。
（JSSIA整理）