华海清科首台新一代双工作台划切装备出机
8月19日,华海清科宣布新一代双工作台高效划切装备Versatile-DT300D首台装备正式出机,发往国内先进存储龙头企业。
据介绍,Versatile-DT300D搭载双工作台全自动切割模块,集成高效传输与高洁净清洗系统,在保障加工一致性的同时显著提升单位时间产出效率,并具备优异的清洗能力。装备的智能量测模块进一步拓展了切割量测与缺陷检测范围,使晶圆在划切环节即可获得更全面的质量监控。装备自主集成的智能控制软件支持全流程数据追溯与智能分析,可无缝接入产线智能制造平台。该装备面向存储芯片、先进封装与图像传感器三大应用领域进行了定制化开发。
随着先进存储、AI芯片对HBM等先进封装需求的持续释放,国产划切装备有望在头部晶圆厂的扩产窗口期加速导入,带动关键封装设备的国产化率进一步提升。
(JSSIA整理)