9月9日消息，据“华海清科”官微报道，华海清科股份有限公司自主研发的国内首台510×515mm全自动板级CMP量产装备Master-P510APEX顺利出机，发往先进封装产线，将在客户端投入量产应用。

据介绍，此次出机的Master-P510APEX针对大尺寸板级封装的工艺特点进行了系统性设计，具备优异的全板面均匀性与平坦化控制能力，可满足低缺陷抛光要求，并通过智能终点检测与自动化控制实现多种工艺模式的灵活切换，为先进封装产线提供高一致性、高良率的规模化量产支持，适配FOPLP、CoPoS、TGV玻璃通孔等前沿板级封装工艺。

（JSSIA整理）